黒崎播磨株式会社

出展予定製品

フィルムや金属箔等のウェブを空気で浮上させる浮上搬送装置「Air-Kroll®」、多孔質セラミックスの特性を活かし、基板、ウエハー、フィルムなど偏りなく均一に吸着固定する「真空吸着チャック(多孔質セラミックス吸着盤)」といったファインセラミックス応用製品を展示致します。

いずれもデモ機を展示しております。
ファインセラミックスを活用した製造工程の課題解決に貢献する技術を、この機会にぜひご覧ください。

製品紹介

• Air-Kroll®

  

  ワークを非接触で浮上させながら搬送する浮上搬送装置です。
  耐摩耗性、絶縁性を有し、発塵を抑えた多孔質セラミックスの微細穴から均一な空気を流し、フィルムや金属箔等の薄いフレキシブルなウェブを空気で浮上させ搬送します。
  ロール形状だけではなく、半円、平面、溝入れなど、ご希望の形状・仕様に設計、製作することも可能です。
  均一にウェブを浮上させて非接触化したいといった、現場のさまざまな課題を解決できる製品となっております。
  
  【特長】
  ■安定した浮上性能
  ■少ない空気量での浮上が可能
  ■耐摩耗に優れる
  ■絶縁性に優れる
  ■発塵が小さい
  ■優れた形状加工技術で多種多様な形状に対応
  
  ※サクションロールとしての仕様も可能です。
  

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• 真空吸着チャック

  

  吸着面を真空にすることによって吸着物を大気圧で押さえて固定、保持できるプレートです。
  多孔質セラミックスのミクロンサイズの穴が全面に広がっているため、フィルムなどの薄膜のワークでも、吸着物に変形が無く均一に吸着することが可能です。
  
  一枚のステージで、8インチ～12インチのようにサイズが異なるワークを吸着することができる部分吸着可能な吸着盤「AH吸着盤」もご紹介いたします。
  
  

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出展企業情報